You are here: Home › Periodic Table | ALD Films

Periodic Table | ALD Films

O:Oxide

N:Nitride

M:Metal

P:Phosphide/Asenide

S:Sulphide/Selenide/Telluride

C:Carbide

F:Fluoride

D:Dopant

O  Oxide of this element has been deposited by the ALD community

O  Recipe for this material is available from CNT staff or customer base

H

1

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                               

He

2

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Li

3

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Be

4

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                   

B

5

O
N
 
 
 
 
 
 
D

C

6

 
 
 
 
 
 
 
 
 

N

7

 
 
 
 
 
 
 
 
 

O

8

 
 
 
 
 
 
 
 
 

F

9

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ne

10

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Na

11

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Mg

12

O
 
 
 
 
 
 
F
 
                   

Al

13

O
N
M
P
 
 
 
 
D

Si

14

O
N
M
 
 
 
C
 
 

P

15

 
 
 
 
 
 
 
 
 

S

16

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cl

17

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ar

18

 
 
 
 
 
 
 
 
 

K

19

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ca

20

O
 
 
 
 
S
 
F
 

Sc

21

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Ti

22

O
N
M
 
 
S
 
 
 

V

23

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Cr

24

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Mn

25

O
N
M
 
 
S
 
 
D

Fe

26

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Co

27

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Ni

28

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Cu

29

O
N
M
 
 
S
 
 
D

Zn

30

O
 
 
 
 
S
 
F
D

Ga

31

O
N
 
P
 
 
 
 
D

Ge

32

O
 
M
 
 
 
 
 
 

As

33

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Se

34

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Br

35

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Kr

36

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rb

37

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Sr

38

O
 
 
 
 
S
 
F
 

Y

39

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Zr

40

O
N
 
 
 
 
 
 
 

Nb

41

O
N
 
 
 
 
 
 
 

Mo

42

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Tc

43

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ru

44

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Rh

45

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Pd

46

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Ag

47

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Cd

48

 
 
 
 
 
S
 
 
 

In

49

O
N
 
P
 
S
 
 
 

Sn

50

O
 
 
 
 
S
 
 
D

Sb

51

O
 
M
 
 
 
 
 
D

Te

52

 
 
 
 
 
 
 
 
 

I

53

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Xe

54

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cs

55

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ba

56

O
 
 
 
 
S
 
 
 

La

57

O
 
 
 
 
S
 
F
 

Hf

72

O
N
 
 
 
S
 
F
 

Ta

73

O
N
M
 
 
 
C
 
 

W

74

O
N
M
 
 
 
 
 
 

Re

75

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Os

76

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Ir

77

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Pt

78

O
 
M
 
 
 
 
 
 

Au

79

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Hg

80

 
 
 
 
 
S
 
 
 

TI

81

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pb

82

O
 
 
 
 
S
 
 
D

Bi

83

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Po

84

 
 
 
 
 
 
 
 
 

At

85

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rn

86

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Fr

87

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ra

88

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Ac

89

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Rf

104

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Db

105

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Sg

106

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Bh

107

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Hs

108

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Mt

109

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                 
                                   
       

Ce

58

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Pr

59

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Nd

60

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pm

61

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Sm

62

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Eu

63

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Gd

64

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Tb

65

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Dy

66

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Ho

67

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Er

68

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Tm

69

O
 
 
 
 
 
 
 
D

Yb

70

O
 
 
 
 
 
 
 
 

Lu

71

O
 
 
 
 
 
 
 
 
       

Th

90

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pa

92

 
 
 
 
 
 
 
 
 

U

93

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Np

94

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Pu

95

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Am

96

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cm

97

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Bk

98

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Cf

100

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Es

101

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Fm

102

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Md

104

 
 
 
 
 
 
 
 
 

No

4

 
 
 
 
 
 
 
 
 

Lr

4

 
 
 
 
 
 
 
 
 
                                   

Acknowledgements

Gordon, Roy (2008). Atomic Layer Deposition (ALD): An Enable for Nanoscience and Nanotechnology. PowerPoint lecture presented at Harvard University, Cambridge, MA.

Elam, Jeffrey (2007). ALD Thin Film Materials. Argonne National Laboratory.